Serligar nýtslur av plasmareinsiverkum

Plasmareinsi-/etsmaskinur framleiða plasma við at seta tvær elektrodur í ein innsiglaðan ílat fyri at skapa eitt el-felt. Ein vakuumpumpa verður brúkt til at halda eitt ávíst vakuumstøði. So hvørt sum gassið gerst alsamt meira sjáldsamt, økist fjarstøðan millum molekyl og fría rørslan hjá molekylum ella ionum eisini. Undir ávirkanini av el-feltinum bresta hesar jónir saman og mynda plasma. Hesar jónir eru sera reaktivar, við nóg mikið av orku til at bróta næstan øll evnafrøðilig bindingar, og elva til evnafrøðiligar reaktiónir á einari og hvørjari útsettari yvirflatu. Ymisk gassplasma hava ymiskar evnafrøðiligar eginleikar. Til dømis er súrevnisplasma sera oxiderandi, ført fyri at oxidera ljósmótstøðu til at framleiða gass, og fær harvið eina reinsivirknað. Ætandi gassplasma hevur framúr góða anisotropi, sum lýkur krøvini til etsju. Plasmaviðgerð gevur glóð, og harvið navnið glóðútlát.
Mekanisman við plasmareinsing byggir fyrst og fremst á "aktivering" av virknum partiklum í plasmanum fyri at taka burtur yvirflatublettir. Viðvíkjandi reaktiónsmekanismuni fevnir plasmareinsing yvirhøvur um hesa tilgongd: óorganiskar gassir verða spentar til ein plasmatilstand; gasskend evni verða adsorberað á fastu yvirflatuna; teir adsorberaðu bólkarnir reagera við molekylum á fastu yvirflatuni til at mynda vørumelekyl; vørumýlini niðurbrótast í gassfasuna; og reaktiónsleivdirnar verða tiknar av yvirflatuni.

Tað mest týðandi við plasmareinsitøkni er, at hon kann viðgera øll undirlagssløg, eisini metallir, hálvleiðarar, oxidir og flestu polymertilfar so sum polypropylen, polyester, polyimid, polyvinylklorid, epoxy og enntá polytetrafluoretylen. Tað kann reinsa bæði alla yvirflatuna og ávís øki, umframt fløktar konstruktiónir.