LCD RF plasmaútgerð

LCD RF Plasma útgerðin er ein há-virkandi skipan, sum er ment til yvirflatuviðgerð av LCD, OLED og øðrum flatpanelskjálvtatilfari. Hon er gjørd til at nøkta tey hørðu krøvini í nútímans framleiðslu, har støðug virking og høgt gjøgnumførsla hava líka týdning. Samlaða skipanin mátar 880mm × 790mm × 1710mm, við eini vakuumkammerstødd á 450mm × 450mm × 450mm. Hvør elektrodupláta er 410mm × 430mm, og upp til fimm løg av undirlagi kunnu viðgerast samstundis í eini ringrás.

 

Frá einum funktionellum sjónarhorni veitir útgerðin eitt brúkara-vinarligt HMI, sum ger tað møguligt at stilla beinleiðis lyklaprosessparametrar so sum RF útgangseffekt, vakuumpumputíð, einstøk viðgerðarpartar og gassstreymstøðir. Hesar innstillingar kunnu broytast skjótt til at laga seg til ymisk tilfar ella prosesskrøv, og bjóða bæði fleksibilitet og konsistens til vinnuligan rakstur.

Gassflutningsskipanin stuðlar trimum sjálvstøðugum rásum og kann handfara køvievni (N2), argon (Ar), vetni (H2) og súrevni (O2). Streymmátarar eru kalibreraðir innan fyri eitt øki 0–200 ml/min, har stýringsneyvleikin heldur sveiggj undir 5%. Allir stórir pneumatiskir komponentir verða veittir av SMC, og kamartættingin byggir á haldgóðar fluor-gummipakningar, sum tryggja langtíðarstabilitet í krevjandi umhvørvum. Plasma verður framleitt gjøgnum eina sjálv-tillagandi RF-streymveitingar, sum virkar við 13,56 MHz, við einum hámarksútgangi uppá 1 kW, sum tryggjar álítandi orkuveiting til einsháttaða viðgerð.

Bygnaðarliga er kamarið framleitt úr há-reinleika 304 rustfríum stáli fyri at minka um oxidering og tæring. Skipanin nýtir eitt dupult-tættingarsnið til vakuumintegritet, meðan koparelektroduhaldarar aftast í kamarinum tryggja vatnrættar elektroduplátur gjøgnum fleiri skrúvulás, og betra um stabilitetin og orkuflytingina. Eyka síðustuðlar styrkja elektrodurnar enn meira. Vakuumjavnvágin er optimerað: ein skjótur-loysingarventilur ger, at trýstjavnast kann innan 5–10 sekund, og minkar um tómgongdina og økir um produktivitetin.

Fyri at tryggja rakstrartrygdina er maskinan útgjørd við feilalarmskipan. Tað logga dagfesting, klokkutíð og orsøk til eina og hvørja óvanliga hending, meðan sjálvvirkandi sløkking verður útloyst fyri at verja bæði kamarið og arbeiðsstykkini.

Hvat nýtslu viðvíkur, so er henda útgerðin nógv brúkt til flip-chip undirfyllingartilgongdir. Plasmareinsing áðrenn undirfylling økir munandi um yvirflatuaktiveringina, betra um bleytleikan og økir um viðheftingina millum undirlagið og innpakkingina. Sostatt betra tað ikki bert um pakkigóðskuna, men økir eisini um langtíðarálítandi framkomnar skjálvta- og hálvleiðarasamlingar.

Heit merki: Lcd rf plasmaútgerð, Kina lcd rf plasmaútgerð framleiðarar, verksmiðju