Vakuum í linju RF plasma útgerð

Vakuum Inline RF plasma Equipment er ein serkøn útgerð, sum er ment til reingerð og aktivering av prentkortflatum, serliga til IC undirlagsforrit. Hon verður í høvuðsheitum nýtt eftir turrfilmsmyndatøkustigið og eftir-loðmaskuhúðing, har rætt yvirflatufyrireiking er avgerandi fyri at betra um viðlíkahaldsstyrkina og tryggja størri álítandi undir eftirfylgjandi tilgongdum. Við at nýta plasmaviðgerð inni í einum stýrdum vakuumkamari, fjernar skipanin effektivt organiskar leivdir og yvirflatudálkandi evni, og økir um samlaðu bindingarførleikan og vørugóðskuna.

Eitt sermerkt við hesi útgerð er tví-kammerarkitekturin. Hvørt kamar er sjálvstøðugt útgjørt við vakuumpumpu og RF-plasmageneratori, sum ger tað møguligt antin parallelt rakstur ella skiftandi nýtsla. Hetta hækkar ikki bert gjøgnumførsluna, men gevur eisini rakstrarligan fleksibilitet. Fyri at varðveita langtíðarstabilitet, integrerar skipanin eitt lukkað-lykkjukølimodul, sum tryggjar støðugan rakstrarhita fyri bæði pumpur og plasmakeldur. Fyri framleiðslulinjur, sum krevja sjálvvirkan, kunnu valfríar lastingar- og lossingarmekanismur leggjast afturat fyri at minka um manuella handfaring og gera tað lættari at hava samband við upp- og niðurstreymoyarútgerð.

Tilfarsstreymurin innan skipanina er væl skipaður. Borð verða leverað til inntøkustøðina og tryggjað við robotgriparum, sum síðani seta undirlagið í ein undir-rammu. Stuðlað av lyftupalli og drivnum rullum verða borðini flutt inn í vakuumrúmið til plasmaviðgerð. Tá virkingin er liðug, flyta somu rullar borðini úr kamarinum, har gripararnir taka tey upp aftur og lata tey víðari til næsta stig. Undir-ramman gongur sjálvvirkandi millum støðir, og tryggjar eina smidliga og effektiva arbeiðsgongd uttan óneyðuga niðursetta tíð.